Nassprozesstechnik

Die Hauptanwendungsgebiete unserer Nassprozess-Einrichtungen liegen in der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente sowie in Forschungs- und Entwicklungslaboren.

Die Grundkörper der Nassprozess-Arbeitsplätze sind aus Vollmaterial (z.B. PP, PPs, Corzan usw.) in stabiler Schweißkonstruktion hergestellt und ermöglichen eine individuelle Zusammenstellung der Ausrüstung.

Für optimale Effizienz werden die Prozessbecken in der Regel nebeneinander in die Tische eingebaut.
Alle Geräte sind bereits in unserem Reinraum getestet, sodass die Prozesstische komplett durchinstalliert bei unseren Kunden angeliefert werden und nur noch mit den bauseitigen Anschlüssen für die Ver- und Entsorgung zu verbinden sind.

Auch im Betrieb stehen bei unseren Systemen immer Effizienz und Sicherheit im Vordergrund. So werden über Randabsaugung und Tischwanne alle schädlichen Gase und Dämpfe mittels Abluftsystem nach außen abgeleitet. Elektrische und durch Fremdkraft betriebene Einrichtungen entsprechen den Sicherheitsstandards für technische Arbeitsmittel. 

Die Anlagen selbst sind gegen schädliche Einflüsse geschützt. So sind z.B sensible Teile, wie Bedientasten oder Regelungs- und Kontrollgeräte, sicher hinter einer Tropfleiste angebracht.